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真空鍍膜設備 真空鍍膜機冷凝泵的工作原理

作者:溫州馳誠真空機械有限公司  來源:http://www.ballroomcity.net  更新時間:2015-11-19 9:58:47  點擊次數:

真空鍍膜設備 真空鍍膜機冷凝泵的工作原理

  真空鍍膜設備 真空鍍膜機主要是低溫表面對氣體的冷凝作用、冷捕作用及物理低溫吸附作用。 
  低溫冷凝:根據各種氣體的特性,采用液氦或者制冷循環氦氣來冷卻。 
  冷捕集:就是不可凝氣體被可凝氣體捕集的現象,通常二氧化碳、水蒸氣、氮氣、壓氣等氣體首先形成霜,于低溫表面形成吸附層,進而達到吸附其它氣體的目的,低溫泵抽除混合氣體的效果比抽除單一效果好就是這個原因。 
  低溫吸附:指低溫表面上的吸附劑吸附氣體的作用,由于吸附劑與氣體分子之間的相互作用很強,故可達到氣相壓強比冷凝表面溫度下它的飽和蒸汽壓還低的水平。吸附劑通常是活性炭。 
  冷凝泵的抽氣速率及影響 冷凝泵的抽氣速率與冷凝表面的面積大小有關系,經數據顯示,單位冷凝表面積下的抽氣速率為11.6升/秒.平方厘米,冷凝泵可以抽到10-8帕;此外粘有活性炭的吸附表面的幾何形狀及位置、活性炭的顆粒結構、粘結材料及粘接工藝,對抽速也有很大的影響。其次關鍵在于制冷機的制冷量要足夠大。 
  真空計:真空計是真空鍍膜機器上的重要組成部分,它是檢測鍍膜機真空度的重要手段。真空計根據其工作原理可以分為絕對真空計和相對真空計,絕對真空計可以直接測量壓強的高低,相對真空計只能間接測量真空度。 
  本文重點介紹鍍膜機器上面常用到的以下幾個真空計: 
  電阻真空計(又叫皮喇尼真空計): 
  它主要由電熱絲、外殼和支架構成,主要是根據在低壓下,氣體的熱傳導系數與壓強成正比的方式工作的。上面開口處與被測真空系統相連接,熱絲采用電阻溫度系數大的金屬絲做成,兩支支架引線與測量線路連接。當壓強降低的時候,由于氣體熱傳導散失的熱量減小,因此當熱絲加熱電流穩定時候,則熱絲溫度就上升,熱絲的電阻就增大,用測量熱絲電阻值的大小來間接測量壓強,有以下關系: 
  略 這就是電阻真空計的工作原理,此真空計的測量范圍是:100-10-1帕之間,目前采用的型號是WP-02 
  磁控放電真空計: 
  工作原理:在放電開始時,由于空間游離電子向陽極運動時,在正交電磁場作用下,電子的軌跡不是直線而是螺旋線前進,又因為陽極是框形,故電子不一定第一次就碰上陽極,而是穿過陽極,然后受到對面陰極的拒斥,又復返回。這樣反復多次才可能打上陽極。由于電子路程大大加長,故碰撞及電離的分子數增加,使得在較低壓強(10-4帕以下)仍維持放電(也稱潘寧放電)。
目前比較多的型號有PKR251、GI-PARY 
  放電管真空計:在玻璃管中封入兩個金屬電極,在其上加上數千伏的直流高電壓,在一定的壓強范圍內(1*10-3~2*10托)內就能引起自持放電,通過放電顏色來判定其真空度 
  目前為止此種真空計已經很少使用,因為其誤差大,容易損壞,而且壽命不長。 
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